有機廢氣治理的蓄熱式焚燒處理系統軟件(RTO)是利用瓷器蓄熱體來存儲有機廢氣溶解時造成的發熱量，并且用瓷器蓄熱體存儲的能源來加熱和溶解未被解決的有機廢氣，進而做到很高的熱效，空氣氧化溫度一般在800℃到850℃中間，可達1100℃。蓄熱式焚燒處理系統軟件關鍵用以有機廢氣濃度值較低而廢氣量很大的場所，在有機廢氣中帶有腐蝕、對金屬催化劑有害的化學物質和較高溫度空氣氧化一些臭味時也可用。
　　有機廢氣治理設備根據離心風機進到蓄熱室1吸熱反應，提溫后進到焚燒處理室中進一步加溫，使有機廢氣不斷提溫直到有機化學成份轉化成CO2和H2O。因為廢氣在提溫過程中利用了蓄熱體回收利用的發熱量，因此然料耗費較少。廢氣經解決后離去發動機燃燒室，進到蓄熱室2釋放出來發熱量后排出，而蓄熱室2的蓄熱體吸熱反應后用以下一個循環系統加溫新鍵入的超低溫廢氣。
　　此外，有機廢氣治理引進一部分凈化處理后的氣體對蓄熱室3開展吹掃以便開展下一輪熱交換器。該過程進行后轉換進氣口和出氣閥，氣體由蓄熱室2進到，蓄熱室3排出來，蓄熱室1開展吹掃；再下面的循環系統則轉換為由蓄熱室3進到，蓄熱室1排出來，蓄熱室2開展吹掃，這般更替轉換不斷運作。除此之外，為了提升能源利用率還可在RTO垃圾焚燒爐后設定熱交換器提升余熱回收利用。